무명전설투표 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다.
SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다.
SK하이닉스는 “장비 도입으로 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 했다.
한편 인공지능(AI) 연산을 지원하는 고부가가치인 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%였다.
이날 개최된 장비 도입 기념행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, SK하이닉스 차선용 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
쿠데타 이후 4년여간 국제사회에서 고립돼온 미얀마 군정이 ‘반 서방 연대’를 강화하는 중국을 등에 업고 외교 고립에서 벗어나고 있다. 민 아웅 흘라잉 미얀마 최고사령관은 상하이협력기구(SCO) 정상회의와 전승절 80주년 열병식에 참석하며 외교적 입지를 다졌다.
흘라잉 최고사령관은 3일 중국 베이징 톈안먼에서 열린 열병식에 참석했다. 지난달 31일부터 이틀간 톈진에서 열린 SCO 정상회의에 초청된 그는 시진핑 중국 국가주석, 나렌드라 모디 인도 총리와 별도 양자 회담을 진행했다.
미얀마 매체 이라와디는 전날 이 같은 소식을 전하며 군정이 국내에서는 저항 세력에 잔혹한 공세를 펼쳐오다가 베이징 품 안에서 명성을 얻고 정치적 숨통을 틔워줄 무대를 찾았다고 평가했다.
미얀마와 가장 먼저 손을 잡은 나라는 중국이다. 중국은 2023년 미얀마 군정에 SCO ‘대화 파트너’ 지위를 준 데 이어 올해 SCO 정상회의에선 미얀마의 정회원 가입을 지지한다고 밝혔다. 또 중국 외교부는 올해 SCO에서 흘라잉 최고사령관을 ‘대통령 권한대행’이라고 지칭했다. 이전에 사용한 ‘미얀마 지도자’보다 더 격식 있는 호칭이다.
시 주석은 지난달 30일 흘라잉 최고사령관과 만나 오는 12월28일 군부 집권 이후 처음으로 열리는 미얀마 총선 지원 방안에 대해 논의하기도 했다. 미얀마에선 통치 정당성이 없는 군부 주최 선거 결과를 인정해선 안된다는 지적이 나오고 있다.
시 주석은 당시 “미얀마와 함께 국경 지역의 평화를 수호하겠다”며 미얀마 북부를 점령하고 있는 반군도 겨냥했다. 중국은 무기 밀수나 온라인 사기 등 반군의 주요 수익원을 국경에서 단속하는 방식으로 반군을 압박하고 있다.
이 같은 움직임은 그간 미얀마 군부에 미적지근한 반응을 보여온 동남아시아국가연합(아세안), 인도, 러시아 등에 중국이 미얀마 군부 통치를 공식 인정한다는 메시지를 준 셈이라고 이라와디는 분석했다. 인도 외무부는 “모든 이해 관계자가 참여하는 공정하고 포괄적인 방식으로 선거가 실시되길 바란다”며 총선을 공식 인정했다.
최근 상호관세 50%를 부과받으며 미국과 갈등을 겪은 인도 역시 미얀마 군정과 밀착하고 있다. 흘라잉 최고사령관과 회담을 마친 모디 총리는 지난달 31일 “미얀마는 인도의 동방정책과 이웃 우선 정책의 중요한 기둥”이라며 “우리는 무역, 에너지, 희토류 채굴, 안보 등 분야에서 관계를 강화할 수 있다는 데 동의했다”고 밝혔다.
희토류 생산국인 미얀마는 중국과 인도에 광물 자원 외교를 펼치는 한편, 반서방 움직임에 동참하고 있다. 흘라잉 최고사령관은 지난 1일 SCO 정상회의에서 “몇몇 주요 국가들이 자국의 민주주의 모델을 다른 국가에 강요하고 있다”며 “미얀마의 내부 상황을 무시하고 있다”고 발언했다. 이는 군부에 제재를 가한 서방 국가들을 겨냥한 것으로 보인다.
군부 제재와 다국적 기업 철수 등을 겪으며 미얀마가 심각한 경제난을 겪고 있는 상황에서 미얀마 군정은 SCO를 전후로 자국 기업인들과 중국 투자자와의 만남을 주선하고 중국 측에 투자를 요청했다.
미얀마 인권단체 ‘저스티스 포 미얀마’는 “군부의 SCO 가입을 지지하는 것은 군부가 국민을 상대로 벌이는 테러 활동을 더욱 강화하도록 돕는 것”이라며 중국에 미얀마 군정을 위한 정치·군사 지원을 즉시 중단할 것을 촉구했다.

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